精密加工技術(shù)：超精密導(dǎo)軌及空氣靜壓軸承技術(shù)
文章來源：中國通用技術(shù)（集團(tuán)）控股有限責(zé)任公司 發(fā)布時(shí)間：2023-05-20
成果93：超精密導(dǎo)軌及空氣靜壓軸承技術(shù)
【所屬領(lǐng)域】關(guān)鍵零部件
【中央企業(yè)名稱】中國通用技術(shù)（集團(tuán)）控股有限責(zé)任公司
【成果簡(jiǎn)介 】
本成果面向超精密加工技術(shù)與裝備需求，對(duì)兩類超精密關(guān)鍵功能部件技術(shù)產(chǎn)品展開攻堅(jiān)。開展了多孔質(zhì)節(jié)流雙半球氣體靜壓軸承設(shè)計(jì)、制造及裝配工藝技術(shù)研究，掌握了超精密氣體靜壓主軸伺服控制技術(shù)。發(fā)明了一種全約束式超精密液體靜壓導(dǎo)軌單元結(jié)構(gòu)，突破了雙膜片節(jié)流型靜壓滑塊設(shè)計(jì)技術(shù)，掌握了液體靜壓導(dǎo)軌裝配工藝和伺服控制技術(shù)。本成果技術(shù)難度大、創(chuàng)新性強(qiáng)，自主研制的超精密氣體靜壓主軸和液體靜壓導(dǎo)軌總體上達(dá)到國際先進(jìn)水平，其中液體靜壓導(dǎo)軌全行程直線度指標(biāo)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。
【主要指標(biāo)】
（一）主軸回轉(zhuǎn)精度：≤25nm
（二）主軸轉(zhuǎn)速：≥3000r/min
（三）導(dǎo)軌直線度：≤0.2μm/200mm
【應(yīng)用推廣需求】
（一）應(yīng)用推廣方式：銷售、轉(zhuǎn)讓、合作實(shí)施、其他
（二）應(yīng)用推廣領(lǐng)域：航空航天、光學(xué)、半導(dǎo)體、消費(fèi)電子等領(lǐng)域中精密光學(xué)元件、復(fù)雜結(jié)構(gòu)件的超精密生產(chǎn)制造與檢測(cè)。?
【成果圖片】
