第18屆國際激光加工技術(shù)研討會（LPC 2024）將于9月10日（深圳光博會前一天）在深圳深鐵皇冠假日酒店舉辦。LPC 2024繼續(xù)秉承以推動激光行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展，搭建“產(chǎn)學(xué)研用”高度融合的國際交流平臺為宗旨，匯聚國內(nèi)外相關(guān)科研院所、高校及企業(yè)的多位專家大咖，圍繞先進(jìn)光源和裝備技術(shù)、激光微納制造、激光智能制造、激光賦能新質(zhì)生產(chǎn)力以及“光”制造行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展路徑等主題進(jìn)行深入探討，結(jié)合他們最新的研究成果和成功案例分享全球激光行業(yè)的創(chuàng)新工藝、技術(shù)、產(chǎn)品和應(yīng)用方案，探索前沿技術(shù)、破解難點痛點、驅(qū)動熱點應(yīng)用、把脈未來趨勢、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展！
演講嘉賓
◎徐少林，南方科技大學(xué)副教授
演講題目
◎激光引導(dǎo)各向異性刻蝕—微結(jié)構(gòu)玻璃器件精密加工技術(shù)
演講摘要
向下滑動閱覽
表面微結(jié)構(gòu)化玻璃在各類光學(xué)元件和光電器件中得到了廣泛應(yīng)用。然而，現(xiàn)有的精密加工方法通常難以實現(xiàn)高效制造復(fù)雜、高自由度的玻璃微結(jié)構(gòu)，這限制了微結(jié)構(gòu)化玻璃元件的應(yīng)用潛力。徐少林團(tuán)隊的研究發(fā)現(xiàn)，通過利用激光對玻璃特定區(qū)域進(jìn)行改性，可局部加速玻璃刻蝕速率，打破玻璃固有的各向同性刻蝕規(guī)律，實現(xiàn)沿改性軌跡引導(dǎo)的各向異性刻蝕過程?；谶@一現(xiàn)象，團(tuán)隊開發(fā)了“激光引導(dǎo)各向異性刻蝕”技術(shù)，用于制備具有銳利特征、光滑表面以及可調(diào)形狀和尺寸的精密玻璃微結(jié)構(gòu)。該方法使用整形貝塞爾光束在玻璃內(nèi)部創(chuàng)建高縱橫比的線形改性區(qū)域。這些改性線的蝕刻速率高于原始玻璃，并且可以沿著改性軌跡引導(dǎo)具有方向性的蝕刻去材過程，從而形成V槽結(jié)構(gòu)。通過調(diào)控蝕刻速率比，可以在20至80度范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié)V槽角度。將這些改性線作為基本單元相互連接，構(gòu)建三維內(nèi)部改性區(qū)域，可以引導(dǎo)玻璃表面形貌的整體蝕刻演化，最終實現(xiàn)具有可設(shè)計形狀和可調(diào)特征尺寸的微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)在加工各類精密結(jié)構(gòu)化玻璃元件中展現(xiàn)出巨大潛力，可加工用于光纖對準(zhǔn)的V槽陣列、用于光調(diào)制的閃耀光柵，以及具有復(fù)雜設(shè)計流道的微流控芯片等。這一激光引導(dǎo)各向異性刻蝕方法有望推動高附加值結(jié)構(gòu)化玻璃器件相關(guān)研究和產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。
嘉賓介紹
徐少林博士，現(xiàn)任南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系長聘副教授（研究員），博士生導(dǎo)師，主要從事超快激光微納加工及應(yīng)用等相關(guān)研究。日本東北大學(xué)機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計工程博士，曾任職于日本東北大學(xué)工學(xué)研究科JSPS特別研究員和助理教授，獲批主持2項日本學(xué)術(shù)振興會科研基金。中國光學(xué)學(xué)會激光加工專業(yè)委員會委員，中國機(jī)械工程學(xué)會極端制造分會委員，廣東省機(jī)械工程學(xué)會特種加工分會理事。學(xué)術(shù)研究上，首次提出激光誘導(dǎo)周期性納米結(jié)構(gòu)自對準(zhǔn)制造、逐像素偏振圖案化脈沖激光光刻等技術(shù)，實現(xiàn)了大面積亞波長結(jié)構(gòu)圖案化高效制造；工業(yè)應(yīng)用上，開發(fā)了整形脈沖激光輔助蝕刻技術(shù)制備玻璃晶圓微通孔/微溝槽/微透鏡等，與企業(yè)共建“激光精密制造與芯片先進(jìn)封裝”校企聯(lián)合實驗室。近年來以通訊作者身份發(fā)表高水平學(xué)術(shù)論文40余篇，獨立主持國家省市級及企業(yè)橫向項目10余項。
